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洁净室洁净度的等级标准
来源:http://www.cqchenhong.com/a/127.html 发布日期:20-09-18 16:02

洁净室及洁净区空气中悬浮粒子的洁净度等级(ISO 14644)

空气洁净度等级(N)

≥表中粒径的较大浓度限值(个/m3)

0.1 μm

0.2 μm

0.3 μm

0.5 μm

1 μm

5 μm

1

10

2

/

/

/

/

2

100

24

10

4

/

/

3

1000

237

102

35

8

/

4

10,000

2370

1020

352

83

/

5

100,000

23700

10,200

3,520

832

29

6

1,000,000

237000

102,000

35,200

8320

293

7

/

/

/

352,000

83,200

2,930

8

/

/

/

3,520,000

832,000

29,300

9

/

/

/

35,200,000

8,320,000

293,000

注:

① 每点至少采样3次。

② 本标准不适用表征悬浮粒子的物理、化学、放射及生命性。

③ 根据工艺要求可确定1~2个粒径。

④ 根据要求粒径D的粒子较大允许浓度由下式确定(粒径0.1μm~5μm)

洁净室


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