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洁净室的建设要求
来源:http://www.cqchenhong.com/a/124.html 发布日期:20-08-05 10:19

    洁净室的四大技术要素:

    一、送风至少经过三级过滤(粗效、中效和高效),并且高效过滤器应设置在系统的末端。

    二、洁净室应有足够的净化和空调的送风量。

    三、洁净室应维持必要的压力梯度(正压梯度或负压梯度)。

    四、洁净室应有合理的气流组织。

    洁净室的分类:

    按气流流型洁净室可划分为:单向流洁净室;非单向流洁净室;混合流洁净室;矢流洁净室。

    单向流洁净室:

    单向流(层流)洁净室,其中又分垂直单向流洁净室和水平单向流洁净室。

    按洁净室主要控制对象划分洁净室又可划分为:工业洁净室;生物洁净室。

    工业洁净室:

    工业洁净室主要的控制对象是灰尘粒子(不分有生命的、无生命的)。

    工业洁净室主要应用在电子、航天、航空、机械、化工、化学制药、能源、纳米等工业中。尤其是电子工业和光电子工业更是离不开洁净室和洁净技术。

    生物洁净室:

    生物洁净室主要控制对象是有生命的、活的微生物粒子,如病菌、病毒等对人类、动物、环境有害的粒子。

    生物洁净室广泛地应用在医疗(洁净手术室、洁净病房)、生物制药、实验动物饲养、生物安全实验室、卫生防疫检疫的事业中。生物洁净室的发展速度非常快,而且得到了各方的认同和重视。

    洁净室的空调负荷特点:

    一、高级别洁净室(100级,10级,1级)是垂直单向流洁净室,其送风机的风量非常大,高达400~500次/h换气,而且风机的压头也很高,一般多在1000~1500Pa,因此风机温升的负荷大。按理论计算:在集中送风方式的系统中,风机的温升为1.5℃,仅此一项的负荷就是500~700W/m2;如果采用FFU送风方式,风机温升的负荷也要250~350W/m2。因此,风机温升的负荷大是其一个负荷特点。

    二、服务于微电子和光电子的高级别洁净室因工艺排风量大,所以新风量也很大,新风量一般在10~20次/h换气;因此,处理如此多新风的负荷大约为400~800W/m2;个别工艺的排风量更大,固新风负荷也还会更大。因此新风负荷大是其第二个负荷特点。

    三、生产设备和生产过程的散热、散湿负荷大,是高级别洁净室的第三个负荷特点。生产负荷的大小是与工艺生产本身的性质、生产设备的密闭、保温、通风以及水冷却的情况有关。

洁净室


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